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【2h】

Surface Roughening of Polystyrene and Poly(methyl methacrylate) in Ar/O2 Plasma Etching

机译：Ar / O2等离子蚀刻中聚苯乙烯和聚甲基丙烯酸甲酯的表面粗糙化

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Amy E. Wendt; Paul F. Nealey; Yuk-Hong Ting; Chi-Chun Liu; Sang-Min Park; Hongquan Jiang;
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年度 2010
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